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為了保護真空泵，真空泵前的電磁閥在過壓的情況下不能打開。真空泵和羅茲泵從開始就一起啟動?？諝饬鹘?jīng)羅茲泵的旁通管。羅茲泵在壓力低于30mbar時達到其Z大的抽氣功率1000m3/h， 能夠防止真空泵裝置通常發(fā)生的在低壓下抽真空能力的下降，實現(xiàn)氣室的良好干燥和快速除氣的目的。

對SF6氣體的水分，粉塵顆粒及分解產(chǎn)物進行過濾。

可用來對已抽真空的氣室進行充氣； 還可對已充氣的氣室進行補氣； 分為便攜式和手推車式。

分為氣態(tài)、液態(tài)兩種，擴大SF6氣體回收裝置的氣體存儲量。

LG-2型SF6氣體干燥過濾裝置主要功能特點及有關(guān)技術(shù)參數(shù) 1、裝置為手推移動式，方便實用； 2、裝置可對含水份超標的SF6氣體進行干燥過濾處理； 3、裝置采用高效干燥吸附劑，可過濾SF6氣體中的氟化物、碳水化合物、水份等雜質(zhì)； 4、裝置采用雙級過濾凈化器； 5、裝置過濾器采內(nèi)置式，電加熱活化處理過濾分子篩，可連接配套的SF6回收裝置或抽真空裝置進行加熱，抽真空，活化再生處理

對SF6氣體的水分，粉塵顆粒及分解產(chǎn)物進行過濾。